业务介绍

业务背景

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）一体化解决方案
的研发背景主要源于对小型化、多功能化、低成本化的需求以及对传感器和执行
器在不同应用领域中的日益广泛应用。

小型化需求

随着电子设备的小型化和便携化趋势，对于微型传感器和执行器的需求不断增加。

MEMS技术因其能够在微尺度上集成传感器和微型电子器件而备受关注，成为小型化电子设备的理想选择。

多功能化需求

现代电子设备对功能的要求越来越多样化和复杂化，需要集成多种不同功能的传感器和执行器。

MEMS技术的灵活性和多功能性使具能够实现在个芯片上集成多种传感器和执行器，满足多样化的功能需求。

低成本化需求

传统的传感器和执行器往往需要复杂的制造工艺和昂贵的材料，成本较高。

MEMS技术利用半导体制造工艺和大规模集成电路的优势，能够以较低的成本实现传感器和执行器的集成，从而降低整体系统的成本。

应用领域的广泛需求

传感器和执行器作为电子设备的关键组件，在汽车、消费电子、医疗、工业自动化等领域中有着广泛的应用。

MEMS一体化解决方案的研发得以满足这些不同领域对传感器和执行器的特定需求。

业务应用场景

学校

器件设计与仿真；工艺开发与优化；器件制造与测试；系统集成与应用开发；数据分析与算法开发；市场调研与商业化推广

研究所

基础研究；器件设计与模拟；和工艺开发与优化；器件制造与测试；应用开发与系统集成；产学研合作与技术转移

公司

设备制造与测试；器件设计与模拟；应用开发与系统集成；工艺开发与优化；技术研究与创新；产业化与市场推广；教育与培训

MEMS一体化解决方案

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）一体化解决方案指的是,

将MEMS技术与其他相关技术（如微电子技术、集成电路设计、封装技术等）相结合，

提供完整的解决方案，以满足特定应用领域的需求。

传感器系统

将MEMS传感器与电子电路集成在一起，构成完整的传感器系统。这些传感器系统可以用于测量和检测各种物理量，如温度、压力、加速度、光强等，广泛应用于汽车、消费电子、医疗、工业自动化等领域。

执行器系统

将MEMS执行器与电子控制系统集成在一起，构成完整的执行器系统这些执行器系统可以用于控制和调节各种物理量，如声波、光学元件、微机械结构等广泛应用于光通信、生物医学、航空航天等领域。

生物医学系统

将MEMS传感器、执行器和微流控技术等集成在一起，构成生物医学系统，用于医学诊断、药物传递、生物分析等应用。这些系统可以实现微型化、快速化和精准化的生物医学检测和治疗。

惯性导航系统

将MEMS惯性传感器(如加速度计、陀螺仪)与电子信号处理器和导抗算法集成在一起，构成惯性导航系统，这些系统可以用于车辆导航、无人机导航、虔拟现实等应用，实现高精度的姿态测量和运动跟踪

微型能源系统

将MEMS能量收集器(如振动发电机、热电发电机)与能量存储器和电子管理电路集成在一起，构成微型能原系统，这些系统可以用于自供能传感器节点可穿戴设备、无线传感器网络等应用，实现长期、稳定的自供能

半导体代工

A:CMP

1.硅晶圆平坦化 2金属化合物的平坦化 3介电层的平坦化:材料去除和表面消洁:填充材料的平坦化。

B：封装

1.芯片封装 2.模块封装封装 3.系统封装 4.光电封装 5.高温封装 6.微机械系统! (MEMS)封装

C：退火

1.金属退火 2.玻璃退火 3.半导体退火 4陶瓷退火 5.塑料退火 6.晶体退火

D：键合

1.焊接键合 2.球形键合 3.焊条键合 4.焊片键合 5.贴片键合 6.管芯键合 7.微观键台